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        光刻
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        接觸式光刻 | 步進式光刻 | 電子束光刻 | 雙面對準光刻 | 激光制版 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        刻蝕
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        鍍膜
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        低壓化學氣相沉積丨等離子增強化學氣相沉積 | 濺射沉積 | 電子束蒸發 | 熱蒸發 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        外延生長·摻雜
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        化學氣相沉積 | 金屬有機化學氣相沉積 | 離子注入丨氧化爐丨退火爐 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        切割·減薄
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        劃片丨裂片 | 激光切割丨解理 | 研磨/減薄丨拋光 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        器件封裝·檢測
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        晶圓鍵合丨引線丨點膠 | 倒裝焊接丨臺階儀丨膜厚儀丨輪廓儀 | 芯片電學測試 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
          
        
    
    
    
        
          
				

    
        
    
  
        

    
  

        


                 
         
                
        
            
            
            
            
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                                外延生長·摻雜
                            
        
                                                    
        
                    
        
                
        

                
          
                                                            
        • 分類：MEMS定制
          • 
                    
        • 作者：
          • 
                    
        • 來源：
          • 
                                                            
                    
        • 發布時間：2021-10-26 10:08
          • 
                    
                    
        • 訪問量：
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                    【概要描述】化學氣相沉積 | 金屬有機化學氣相沉積 | 離子注入丨氧化爐丨退火爐 等...
                
        
                
            
        
            
                        
        
                
        
                    
         
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        
        
                                    	 外延生長·摻雜
	                                    
                                    
        
                                        
        
                                            
        外延生長·摻雜
        
                                            
        
                                        
        
                                    
        
                                
        
                                                                        
        
                    
                    
        
                        
                    
        
                    
        
                        
                    
        
                    
        
                
        
                
        
                    
        
                                                                                                                
        
                                    
        
                                        	 外延生長·摻雜
	                                    
        
                                
        
                                                                        
        
                    
                    
                
        
            
        
                        
        
                
                
        
                    
                    
        
                        
        
                            
        
                                
                                外延生長·摻雜
                            
        
                                                    
        
                    
        
                
        
                
                
        
                    【概要描述】化學氣相沉積 | 金屬有機化學氣相沉積 | 離子注入丨氧化爐丨退火爐 等...
                
        
                
          
                                                            
        • 分類：MEMS定制
          • 
                    
        • 作者：
          • 
                    
        • 來源：
          • 
                                                            
                    
        • 發布時間：2021-10-26 10:08
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        • 訪問量：
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        詳情 
        
            
        
            
        
  
        
    
        金屬有機化學 氣相沉積
        
    
        GaN，SiGe，GaAs
        
  
        
  
        
    
        化學氣相沉積
        
    
        SIC
        
  
        

        

        
  
        
    
        離子注入
        
    
        B，P，F，Al，N，Ar，H
        
  
        
  
        
    
        高溫氧化
        
    
        1150℃
        
  
        

        

        
  
        
    
        高溫擴散/退火
        
    
        900℃-1100℃
        
  
        
  
        
    
        快速退火
        
    
        A150℃-1000℃
        
  
        

        

 

        
                        
                        
                        
            
        
                                                
        
                    上一個:
                                            
                            鍍膜
                        
                                        
                
        
                
                                                
        
                    下一個:
                                            
                            切割·減薄
                        
                                        
                
        
            
        
            
            
            
        
                                                
        
                    上一個:
                                            
                            鍍膜
                        
                                        
                
        
                
                                                
        
                    下一個:
                                            
                            切割·減薄
                        
                                        
                
        
            
        

            


            
        
        
        
    
    
    
    

        盟維芯片秉承“做您身邊的MEMS解決方案工程師”的理念
        
可提供MEMS定制、MEMS代工、微納器件設計與加工服務
        
公司擁有光刻、刻蝕、鍍膜、封裝、檢測等加工技術，可滿足多數MEMS加工要求
        

               
          
         





        
    
        
        
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       鍍膜剝離
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                鍍膜剝離
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       套刻顯影
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                套刻顯影
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       圓孔刻蝕
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                圓孔刻蝕
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       器件打線
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                器件打線
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                    
        
    
        

    
    
        
            
				

    
        
    
    

        




        芯躍界限，洞悉瞬間！
        


                              —— 盟維芯片
        

               
          
           
                 
               
          
               
          
           
                 
           
                 
           
                 
               
          
                 
           
                 
               
          
                 
          
                       
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