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        光刻
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        接觸式光刻 | 步進式光刻 | 電子束光刻 | 雙面對準光刻 | 激光制版 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        刻蝕
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        鍍膜
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        低壓化學氣相沉積丨等離子增強化學氣相沉積 | 濺射沉積 | 電子束蒸發 | 熱蒸發 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        外延生長·摻雜
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        化學氣相沉積 | 金屬有機化學氣相沉積 | 離子注入丨氧化爐丨退火爐 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        切割·減薄
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        劃片丨裂片 | 激光切割丨解理 | 研磨/減薄丨拋光 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
            
        
        
                        
        
        
        
        
          
          
        
          
            
            
        
                    
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        器件封裝·檢測
                
        
                      
            
        
            
            
            
        
              
        晶圓鍵合丨引線丨點膠 | 倒裝焊接丨臺階儀丨膜厚儀丨輪廓儀 | 芯片電學測試 等...
              
        
            
        
            
          
        
          
        
        
      
        
          
        
    
    
    
        
          
				

    
        
    
  
        

    
  

        


                 
         
                
        
            
            
            
            
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                                光刻
                            
        
                                                    
        
                    
        
                
        

                
          
                                                            
        • 分類：MEMS定制
          • 
                    
        • 作者：
          • 
                    
        • 來源：
          • 
                                                            
                    
        • 發布時間：2021-10-26 10:09
          • 
                    
                    
        • 訪問量：
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                    【概要描述】接觸式光刻 | 步進式光刻 | 電子束光刻 | 雙面對準光刻 | 激光制版 等...
                
        
                
            
        
            
                        
        
                
        
                    
         
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        
        
                                    	 光刻
	                                    
                                    
        
                                        
        
                                            
        光刻
        
                                            
        
                                        
        
                                    
        
                                
        
                                                                        
        
                    
                    
        
                        
                    
        
                    
        
                        
                    
        
                    
        
                
        
                
        
                    
        
                                                                                                                
        
                                    
        
                                        	 光刻
	                                    
        
                                
        
                                                                        
        
                    
                    
                
        
            
        
                        
        
                
                
        
                    
                    
        
                        
        
                            
        
                                
                                光刻
                            
        
                                                    
        
                    
        
                
        
                
                
        
                    【概要描述】接觸式光刻 | 步進式光刻 | 電子束光刻 | 雙面對準光刻 | 激光制版 等...
                
        
                
          
                                                            
        • 分類：MEMS定制
          • 
                    
        • 作者：
          • 
                    
        • 來源：
          • 
                                                            
                    
        • 發布時間：2021-10-26 10:09
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        詳情 
        
            
        
            
        
  
        
    
        接觸式光刻
        
    
        最小圖形尺寸：1μm，套刻精度：±0.5μm
        
  
        
  
        
    
        步進式光刻
        
    
        投影比例1:5，最小圖形尺寸：0.35μm 套刻精度≤0.15μm(X,Y)，曝光范圍<22.5*22.5mm
        
  
        

        

        
  
        
    
        電子束光刻
        
    
        最小圖形尺寸：10nm，套刻精度：40nm 曝光范圍<直徑75mm
        
  
        
  
        
    
        雙面對準光刻
        
    
        最小圖形尺寸：1μm，正面套刻精度：±0.5μm 背面套刻精度：±0.5μm
        
  
        

        

        
  
        
    
        勻膠/顯影
        
    
        正膠：50nm~20μm，負膠：50~400nm
        
  
        
  
        
    
        噴膠
        
    
        單次厚度<2μm
        
  
        

        

        
  
        
    
        熱板/烘箱
        
    
        熱板溫度<180℃，烘箱溫度<350℃
        
  
        
  
        
    
        激光制版
        
    
        線寬>2μm
        
  
        

        


        
                        
                        
                        
            
        
                                                
        
                    上一個:
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                    下一個:
                                            
                            刻蝕
                        
                                        
                
        
            
        
            
            
            
        
                                                
        
                    上一個:
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                    下一個:
                                            
                            刻蝕
                        
                                        
                
        
            
        

            


            
        
        
        
    
    
    
    

        盟維芯片秉承“做您身邊的MEMS解決方案工程師”的理念
        
可提供MEMS定制、MEMS代工、微納器件設計與加工服務
        
公司擁有光刻、刻蝕、鍍膜、封裝、檢測等加工技術，可滿足多數MEMS加工要求
        

               
          
         





        
    
        
        
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       鍍膜剝離
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                鍍膜剝離
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       套刻顯影
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                套刻顯影
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       圓孔刻蝕
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                圓孔刻蝕
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                        
        
                
        
                    
                    
        
    
                       器件打線
                    
        
                    
                    
        
                        
        
                            
                                器件打線
                            
                        
        
                    
        
                
        
            
        
                    
        
    
        

    
    
        
            
				

    
        
    
    

        




        芯躍界限，洞悉瞬間！
        


                              —— 盟維芯片
        

               
          
           
                 
               
          
               
          
           
                 
           
                 
           
                 
               
          
                 
           
                 
               
          
                 
          
                       
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