光刻

接觸式光刻 | 步進式光刻 | 電子束光刻 | 雙面對準光刻 | 激光制版 等...

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刻蝕

堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...

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鍍膜

低壓化學氣相沉積丨等離子增強化學氣相沉積 | 濺射沉積 | 電子束蒸發 | 熱蒸發 等...

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外延生長·摻雜

化學氣相沉積 | 金屬有機化學氣相沉積 | 離子注入丨氧化爐丨退火爐 等...

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切割·減薄

劃片丨裂片 | 激光切割丨解理 | 研磨/減薄丨拋光 等...

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器件封裝·檢測

晶圓鍵合丨引線丨點膠 | 倒裝焊接丨臺階儀丨膜厚儀丨輪廓儀 | 芯片電學測試 等...

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