MEMS定制
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鍍膜
- 分類：MEMS定制
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2021-10-26 10:08
- 訪問量：
【概要描述】低壓化學氣相沉積丨等離子增強化學氣相沉積 | 濺射沉積 | 電子束蒸發 | 熱蒸發 等...
鍍膜
【概要描述】低壓化學氣相沉積丨等離子增強化學氣相沉積 | 濺射沉積 | 電子束蒸發 | 熱蒸發 等...
- 分類：MEMS定制
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2021-10-26 10:08
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詳情
低壓化學氣相沉積
SINx
等離子增強 化學氣相沉積
SiO?，SiNx，a-Si(B,P,Ge摻雜)
感應耦合 化學氣相沉積
SiO?，SiNx，SiC(低溫、低應力鍍膜)
原子層沉積
Al2O3
光學鍍膜
SiO?，MgF2，ITO，TiO?，ZrO2，Al2O3
濺射沉積
Al，Au，Ag，Cr，Cu，Ti，TiN，TiW， Ni，NiCr，Pd，Pt，Zn
電子束蒸發
Ti，Al，Ni，Ag，Cr，Sn，Pt，AuGe
熱蒸發
In，AuSn，Ag，Au
晶圓級電鍍
Au，Cu，Ni，Sn
盟維芯片秉承“做您身邊的MEMS解決方案工程師”的理念
可提供MEMS定制、MEMS代工、微納器件設計與加工服務
公司擁有光刻、刻蝕、鍍膜、封裝、檢測等加工技術，可滿足多數MEMS加工要求
芯躍界限，洞悉瞬間！
—— 盟維芯片
