MEMS定制
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刻蝕
- 分類：MEMS定制
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2021-10-26 10:08
- 訪問量：
【概要描述】堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
刻蝕
【概要描述】堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
- 分類：MEMS定制
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2021-10-26 10:08
- 訪問量：
詳情
堿性腐蝕
KOH，TMAH
酸性腐蝕
HF，BOE，HCI，HNO3等
光刻膠剝離
Acetone，IPA
電感耦合等離子刻蝕
GaN，GaAs，InP
深硅刻蝕DRIE
光刻膠掩模選擇比>50:1，氧化硅掩模選擇比>70:1，刻蝕形貌：90°±1°
深氧化硅刻蝕
石英，玻璃，硅，刻蝕形貌：90°±1°
離子束刻蝕
Ni，Ti，Al，Au，Ge，Si，Ni-Cr，TiN，ITO，GaN，GaAs，SiO?，PMMA，聚合物
反應離子刻蝕
Si，SiO?，SiNx
灰化
光刻膠，聚合物
盟維芯片秉承“做您身邊的MEMS解決方案工程師”的理念
可提供MEMS定制、MEMS代工、微納器件設計與加工服務
公司擁有光刻、刻蝕、鍍膜、封裝、檢測等加工技術，可滿足多數MEMS加工要求
芯躍界限，洞悉瞬間！
—— 盟維芯片
