
MEMS定制

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刻蝕
- 分類:MEMS定制
- 作者:
- 來源:
- 發布時間:2021-10-26 10:08
- 訪問量:
【概要描述】堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
刻蝕
【概要描述】堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
- 分類:MEMS定制
- 作者:
- 來源:
- 發布時間:2021-10-26 10:08
- 訪問量:
詳情
堿性腐蝕
KOH,TMAH
酸性腐蝕
HF,BOE,HCI,HNO3等
光刻膠剝離
Acetone,IPA
電感耦合等離子刻蝕
GaN,GaAs,InP
深硅刻蝕DRIE
光刻膠掩模選擇比>50:1,氧化硅掩模選擇比>70:1,刻蝕形貌:90°±1°
深氧化硅刻蝕
石英,玻璃,硅,刻蝕形貌:90°±1°
離子束刻蝕
Ni,Ti,Al,Au,Ge,Si,Ni-Cr,TiN,ITO,GaN,GaAs,SiO?,PMMA,聚合物
反應離子刻蝕
Si,SiO?,SiNx
灰化
光刻膠,聚合物
盟維芯片秉承“做您身邊的MEMS解決方案工程師”的理念
可提供MEMS定制、MEMS代工、微納器件設計與加工服務
公司擁有光刻、刻蝕、鍍膜、封裝、檢測等加工技術,可滿足多數MEMS加工要求
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—— 盟維芯片
