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      1. 盟維芯片

        MEMS定制

        盟維芯片
        26
        2021-10
        接觸式光刻 | 步進式光刻 | 電子束光刻 | 雙面對準光刻 | 激光制版 等...
        26
        2021-10
        堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...
        26
        2021-10
        低壓化學氣相沉積丨等離子增強化學氣相沉積 | 濺射沉積 | 電子束蒸發 | 熱蒸發 等...
        26
        2021-10
        化學氣相沉積 | 金屬有機化學氣相沉積 | 離子注入丨氧化爐丨退火爐 等...
        26
        2021-10
        劃片丨裂片 | 激光切割丨解理 | 研磨/減薄丨拋光 等...
        26
        2021-10
        晶圓鍵合丨引線丨點膠 | 倒裝焊接丨臺階儀丨膜厚儀丨輪廓儀 | 芯片電學測試 等...

        刻蝕

        • 分類:MEMS定制
        • 作者:
        • 來源:
        • 發布時間:2021-10-26 10:08
        • 訪問量:

        【概要描述】堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...

        刻蝕

        【概要描述】堿性腐蝕 | 酸性腐蝕 | 電感耦合等離子刻蝕 | 深硅刻蝕 | 深氧化硅刻蝕 | 離子束刻蝕 等...

        • 分類:MEMS定制
        • 作者:
        • 來源:
        • 發布時間:2021-10-26 10:08
        • 訪問量:
        詳情

        堿性腐蝕

        KOH,TMAH

        酸性腐蝕

        HF,BOE,HCI,HNO3等

        光刻膠剝離

        Acetone,IPA

        電感耦合等離子刻蝕

        GaN,GaAs,InP

        深硅刻蝕DRIE

        光刻膠掩模選擇比>50:1,氧化硅掩模選擇比>70:1,刻蝕形貌:90°±1°

        深氧化硅刻蝕

        石英,玻璃,硅,刻蝕形貌:90°±1°

        離子束刻蝕

        Ni,Ti,Al,Au,Ge,Si,Ni-Cr,TiN,ITO,GaN,GaAs,SiO?,PMMA,聚合物

        反應離子刻蝕

        Si,SiO?,SiNx

        灰化

        光刻膠,聚合物

        上一個: 光刻
        下一個: 鍍膜
        上一個: 光刻
        下一個: 鍍膜

        盟維芯片秉承“做您身邊的MEMS解決方案工程師”的理念
        可提供MEMS定制、MEMS代工、微納器件設計與加工服務
        公司擁有光刻、刻蝕、鍍膜、封裝、檢測等加工技術,可滿足多數MEMS加工要求

        芯躍界限,洞悉瞬間!

                              —— 盟維芯片

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